Miroslav Haluska: Lerneinheiten im Herbstsemester 2022

NameHerr Dr. Miroslav Haluska
Adresse
Chair in Micro and Nanosystems
ETH Zürich, CLA G 3
Tannenstrasse 3
8092 Zürich
SWITZERLAND
Telefon+41 44 632 76 40
E-Mailhaluska@micro.mavt.ethz.ch
DepartementMaschinenbau und Verfahrenstechnik
BeziehungDozent

NummerTitelECTSUmfangDozierende
151-0620-00LEmbedded MEMS Lab5 KP3PC. Hierold, M. Haluska
151-0621-00LMicrosystems I: Process Technology and Integration6 KP3V + 3UM. Haluska, C. Hierold